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机械工程系朱煜教授等获2018年度北京市科学技术一等奖

3月1日上午,菲律宾申博娱乐场:北京市委、市政府隆重召开2018年度北京市科学技术奖励大会。市委书记蔡奇,市委副书记、市长陈吉宁等领导为科技工作者颁奖,对他们为全国科技创新中心建设作出的贡献致以崇高敬意和热烈祝贺。在此次奖励大会上,清华大学共有33项成果获奖,其中一等奖6项,二等奖5项,三等奖5项。

机械工程系机械电子工程研究所朱煜教授作为第一完成人,张鸣、杨开明、胡金春、成荣、李鑫、胡楚雄、尹文生、徐登峰、穆海华、王磊杰、张利、胡海、张永刚、李晓通等参与完成的《纳米运动精度光刻机超精密双工件台技术与应用》项目荣获一等奖。此项目由清华大学IC装备团队历经十五年研究攻关,突破了纳米运动精度超精密光刻机双工件台系列关键技术,攻克了光刻机工件台系统设计和集成技术,通过多轮样机的迭代研发,最终研制出光刻机双工件台掩模台系统样机,并通过了相关测试,获授权发明专利126项、其中授权美国专利13项,实现了光刻机双工件台的产品化、产业化,标志着我国成为世界上第二个掌握这一顶尖技术的国家。


颁奖仪式


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